グループ

機関名:大阪府立大学

グループ名:プロセス物理

メンバー:平井義彦(微細加工・ナノインプリント)、川田博昭(微細加工・プロセスプラズマ)、安田雅昭(微細加工・電子ビーム応用)

物性委員:平井 義彦